排气节流阀是真空领域的关键器件,是一种精密的流体控制装置,广泛应用于泛半导体领域的刻蚀、扩散、沉积等关键工序;排气节流阀通过蝶板的旋转改变流体通道的截面积,实现对流体流量和压力的控制,保持特殊工艺的真空度。
HISCIENCE研发生产的排气节流阀不仅了在关键性能指标上与国外蝶阀持平,同时改善了阀体及控制部分结构,具有高响应速度,并提升了阀体使用寿命,具有更高的可靠性。

阀类
排气节流阀是真空领域的关键器件,是一种精密的流体控制装置,广泛应用于泛半导体领域的刻蚀、扩散、沉积等关键工序;排气节流阀通过蝶板的旋转改变流体通道的截面积,实现对流体流量和压力的控制,保持特殊工艺的真空度。
HISCIENCE研发生产的排气节流阀不仅了在关键性能指标上与国外蝶阀持平,同时改善了阀体及控制部分结构,具有高响应速度,并提升了阀体使用寿命,具有更高的可靠性。
技术参数| 分类 | 项目 | 参数 |
|---|---|---|
| 基础参数 | 安装方式 | 法兰式 |
| 公称直径 | 100 mm | |
| 工作压力范围 | 7 Pa ~ 101.325 kPa | |
| 工作电压 | 24±10% V DC | |
| 工作电流 | 0~0.6 mA | |
| 控制方式 | RS422/485 压力控制 / 角度控制 | |
| 阀门扭矩 | 3 Nm | |
| 电气端口 | 电源 | DB-9 公头 |
| 传感器 | DB-15 母头 | |
| 接口 | DB-25 母头 | |
| 服务 | DB-9 母头 | |
| 温度参数 | 工作温度 - 阀体 | 0°C~200°C |
| 工作温度 - 控制部分 | 0°C~60°C | |
| 储存温度 | -20°C~80°C | |
| 寿命与介质 | 负载周期 | ≥6 个月 |
| 介质 | 空气、氩气、氨气、硅烷、甲烷、氮气、笑气(N₂O)、碳化氮 | |
| 气体接触材质 | 阀体 | 316L 不锈钢 |
| 密封件 | FFKM |
外形尺寸
产品图纸
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2、原厂工程师团队:所有服务工程师均经过专业培训和考核,具备传感器 / 关节模组的调试、维修、校准全流程能力,持证上岗;
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