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HISDFA100型蝶阀

HISDFA100型蝶阀

阀类

排气节流阀是真空领域的关键器件,是一种精密的流体控制装置,广泛应用于泛半导体领域的刻蚀、扩散、沉积等关键工序;排气节流阀通过蝶板的旋转改变流体通道的截面积,实现对流体流量和压力的控制,保持特殊工艺的真空度。

HISCIENCE研发生产的排气节流阀不仅了在关键性能指标上与国外蝶阀持平,同时改善了阀体及控制部分结构,具有高响应速度,并提升了阀体使用寿命,具有更高的可靠性。

Product parameters

技术参数技术参数

分类项目参数
基础参数安装方式法兰式
公称直径100 mm
工作压力范围7 Pa ~ 101.325 kPa
工作电压24±10% V DC
工作电流0~0.6 mA
控制方式RS422/485 压力控制 / 角度控制
阀门扭矩3 Nm
电气端口电源DB-9 公头
传感器DB-15 母头
接口DB-25 母头
服务DB-9 母头
温度参数工作温度 - 阀体0°C~200°C
工作温度 - 控制部分0°C~60°C
储存温度-20°C~80°C
寿命与介质负载周期≥6 个月
介质空气、氩气、氨气、硅烷、甲烷、氮气、笑气(N₂O)、碳化氮
气体接触材质阀体316L 不锈钢
密封件FFKM

外形尺寸外形尺寸

产品图纸产品图纸

售后服务售后服务

为所有售后服务提供坚实支撑,确保服务质量和效率:

1、全国服务网点:在国内主要工业城市设立服务网点和检测中心,实现区域化服务覆盖,缩短现场服务响应时间;

2、原厂工程师团队:所有服务工程师均经过专业培训和考核,具备传感器 / 关节模组的调试、维修、校准全流程能力,持证上岗;

3、标准化服务流程:建立从服务受理 - 故障诊断 - 解决方案 - 服务执行 - 售后回访的标准化流程,确保每一项服务都有记录、有跟踪、有保障;

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承诺12小时快速解决问题,7x24小时及时响应,36小时现场维修。

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